名稱		位置	操作
雷射直寫光罩製造系統 (MASK Laser Writer )		舊生科大樓1樓潔淨室
場發射穿透式電子顯微鏡 (FE-TEM)		應用科技大樓一樓103室
場發射掃描式電子顯微鏡 (FE-SEM)		MB-11
化學分析電子能譜儀 (ESCA)		應用科技大樓
場發射掃描式電子顯微鏡 (FE-SEM)		應用科技大樓
多功能聚焦離子束系統 (FIB)		應用科技大樓FIB實驗室
奈米壓痕測試儀 (Nano ID)		MB-04
高解析X光繞射儀 (HR-XRD)		應用科技大樓
垂直面低掠角X光繞儀 (In-plane GID XRD)		應用科技大樓