名稱		位置	動作
X光繞射儀		MB-02
材料介面反應電腦模擬系統 (Computer simulation for the interface of materials)		M-105
掃瞄式電子顯微鏡(SEM)		MB-10
紫外/可見光光譜儀(UV-Vis Spectrophotometer)		MB-07
光學實驗系統 - 物理光學光波導原理		MB-07
桌上型掃描式電子顯微鏡(HITACHI TM-1000)		MB-08
穿透式電子顯微鏡(TEM)		MB-14
電磁實驗室		M-101
陶瓷實驗室		M-102
金相實驗室		M-105
化學實驗室		M-106
超高精密堆疊對準系統 HPAS Mono High Precision Alignment Stacking		MB-07
機性實驗室		MB-13