名稱 化學分析電子能譜儀 (ESCA)
副標題 化學分析電子能譜儀，又名X射線光電子能譜儀(X-ray Photoelectron Spectroscope, XPS)，是設計來進行物質表面定性與定量的化學分析。ESCA的基本功能為全能譜分析(survey analysis)、元素線掃描(line scan)、化學成像(chemical imaging)與成分縱深分佈(depth profiling)。成分縱深分佈包括離子濺擊縱深分佈與適用於超薄薄膜之角度解析(angle-resolved)縱深分佈兩種。 廠牌：ULVAC-PHI 型號：PHI 5000 VersaProbe / Scanning ESCA Microprobe X射線束最小直徑：< 10 mm (20/80% knife edge) 微區分析能力：10 mm時敏感度 > 4,000 cps (0.6 eV, Ag 3d5/2) 能量解析度：<0.50 eV (Ag3d5/2)； <0.85 eV (O=C-O, PET C1s) 試片操控：5軸，XY平移範圍±25 mm，旋轉360°，傾斜90° 試片定位：光學與SXI成像 超高真空腔體：搭配離子泵與鈦昇華泵，極限真空< 6.7×10-8 Pa 電中和：自動化高電流冷陰極電子與低能量氬離子雙槍系統
說明 http://research.nchu.edu.tw/unit-news-detail/id/63/unit/9/mid/83#esca
編號 國科會貴重儀器 (ULVAC-PHI PHI 5000 VersaProbe )
可供預約 No
Purchase Date 2013-01-18
管理人 張立信
管理人聯絡電話 04-22840234-123
位置 應用科技大樓