副標題 |
化學分析電子能譜儀,又名X射線光電子能譜儀(X-ray Photoelectron Spectroscope, XPS),是設計來進行物質表面定性與定量的化學分析。ESCA的基本功能為全能譜分析(survey analysis)、元素線掃描(line scan)、化學成像(chemical imaging)與成分縱深分佈(depth profiling)。成分縱深分佈包括離子濺擊縱深分佈與適用於超薄薄膜之角度解析(angle-resolved)縱深分佈兩種。
廠牌:ULVAC-PHI
型號:PHI 5000 VersaProbe / Scanning ESCA Microprobe
X射線束最小直徑:< 10 mm (20/80% knife edge)
微區分析能力:10 mm時敏感度 > 4,000 cps (0.6 eV, Ag 3d5/2)
能量解析度:<0.50 eV (Ag3d5/2); <0.85 eV (O=C-O, PET C1s)
試片操控:5軸,XY平移範圍±25 mm,旋轉360°,傾斜90°
試片定位:光學與SXI成像
超高真空腔體:搭配離子泵與鈦昇華泵,極限真空< 6.7×10-8 Pa
電中和:自動化高電流冷陰極電子與低能量氬離子雙槍系統 |