副標題 |
聚焦離子束顯微鏡 (FIB, Focus Ion Beam Microscope)採用Ga 液態金屬離子源, 藉由離子光學系統形成聚焦離子束, 由於離子束具備撞擊能力,因此在現代分析研究中扮演相當重要的角色,除了可作微小定點截面切割, 亦可搭配SEM作即時觀察,亦加裝EDS可作元素定性定量分析。而Deposition 部分則可藉由不同GIS (Gas Injection System) 來達成。
本機台為 Dual Beam FIB(主要包含?子槍及SEM 電子槍),除了用離子束切削觀察外,亦可用SEM 作高解析即時觀察,當然也可用於TEM 截面樣品製作,此法對於需精密定點或材質軟硬相差較大的樣品相當方便好用。
廠牌 : JEOL
型號 : JIB-4601F
加速電壓: 0.2kV ~ 30kV
電子槍型式: 熱場發射式電子槍
放大倍率: 30~1,000,000倍
試片規格:直徑小於50,高度小於20mm, T : -5° to 70°, R : 360°
解析度: 1nm(15V)
離子束規格
加速電壓: 1kV ~ 30kV
離子槍型態: 液態金屬鎵
沉積氣體:Pt,C,W,TMCTS
解析度 5nm |