名稱 多功能聚焦離子束系統 (FIB)
副標題 聚焦離子束顯微鏡 (FIB, Focus Ion Beam Microscope)採用Ga 液態金屬離子源, 藉由離子光學系統形成聚焦離子束, 由於離子束具備撞擊能力,因此在現代分析研究中扮演相當重要的角色，除了可作微小定點截面切割, 亦可搭配SEM作即時觀察，亦加裝EDS可作元素定性定量分析。而Deposition 部分則可藉由不同GIS (Gas Injection System) 來達成。 本機台為 Dual Beam FIB(主要包含?子槍及SEM 電子槍)，除了用離子束切削觀察外，亦可用SEM 作高解析即時觀察，當然也可用於TEM 截面樣品製作，此法對於需精密定點或材質軟硬相差較大的樣品相當方便好用。 廠牌 : JEOL 型號 : JIB-4601F 加速電壓: 0.2kV ~ 30kV 電子槍型式: 熱場發射式電子槍 放大倍率: 30~1,000,000倍 試片規格：直徑小於50，高度小於20mm， T : -5° to 70°， R : 360° 解析度： 1nm(15V) 離子束規格 加速電壓: 1kV ~ 30kV 離子槍型態: 液態金屬鎵 沉積氣體：Pt,C,W,TMCTS 解析度 5nm
說明 http://research.nchu.edu.tw/unit-news-detail/id/63/unit/9/mid/83#FIB
編號 國科會貴重儀器(JEOL JIB-4601F)
可供預約 No
Purchase Date 2013-01-18
管理人 林佳鋒
管理人聯絡電話 04-22840234-120
位置 應用科技大樓FIB實驗室