名稱 雷射直寫光罩製造系統 (MASK Laser Writer )
說明 http://research.nchu.edu.tw/unit-news-detail/id/63/unit/9/mid/83#MASK
編號 國科會貴重儀器 (DWL-66)
可供預約 No
Purchase Date 2006-12-22
管理人 武東星
管理人聯絡電話 04-22853596
位置 舊生科大樓1樓潔淨室