名稱 | 場發射掃描式電子顯微鏡 (FE-SEM) |
副標題 | 場發射掃描式電子顯微鏡可觀察物體之微結構,由於高電場所發射之電子束徑小,亮度高,具有傳統掃描式電子顯微鏡所明顯不及之高解析度,其解析度可高達 1.0 nm(15 kV)、2.2 nm(1 kV) ,另可在低電壓(可低至 0.5 kV )下操作,具直接觀察非導體之功能。 本儀器為日本 JEOL JSM-6700F 冷陰極( Cold cathode )場發射掃描式電子顯微鏡。相較其他熱( Thermal )場發射及蕭基( Schottky )電子槍而言,其優點是電子束與能量散佈相當小,且在超高真空下操作,解析度佳。本儀器另加裝了X 光能量散譜儀( X-ray energy dispersive spectrometer,EDS ),可對材料做進一步微區元素定性與定量分析。 廠牌:JEOL 型號:JSM-6700F 加速電壓:0.5~30KV 電子槍型式:冷場發射 放大倍率:25~650,000倍 講義及操作手冊下載: http://ccsun.nchu.edu.tw/~yflu/6700f.rar |
說明 | http://research.nchu.edu.tw/unit-article/mid/81 |
編號 | 中興大學校內貴重儀器 (JEOL JSM-6700F) |
可供預約 | No |
Purchase Date | 2013-01-18 |
管理人 | 呂福興 |
管理人聯絡電話 | 04-22840500-191葉晏岑 |
位置 | MB-11 |