名稱 超高精密堆疊對準系統 HPAS Mono High Precision Alignment Stacking
副標題 Nanovie HPAS Mono 採用影像分析與對準軟體，能快速、精準完成堆疊任務。50 nm 步進堆疊與可調傾角功能，能確保堆疊品質優異可靠。可於手套箱內透過軟體於外部操作，能有效防止氧化與污染。廠牌: Nanovie 型號: HPAS Mono (HPAS 2307)
 
編號 材料系儀器
可供預約 No
Purchase Date 2024-01-04
管理人 林佳鋒
管理人聯絡電話 705王瀚瑋,李承洧
位置 MB-07